Pemerintah Kota Salatiga telah membentuk lembaga pelayanan perizinan melalui berbagai tahapan dan perubahan sebagai berikut.
- Pembentukan Unit Pelayanan Terpadu (OSS/UPT PTSP), dibentuk dengan Peraturan Walikota Nomor 7 Tahun 2007 tentang Unit Pelaksana Teknis (UPT) Pelayanan Terpadu Satu Pintu Kota Salatiga. OSS/UPT PTSP yang masih di bawah BPMPUD secara resmi dilaksanakan pada Mei 2007 – Desember 2008. Kemudian dikeluarkan Peraturan Daerah Kota Salatiga Nomor 11 Tahun 2008 tentang Organisasi dan Tata Kerja Lembaga Teknis Daerah, Kantor Pelayanan Perizinan Terpadu dan Satuan Polisi Pamong Praja Kota Salatiga.
- Pembentukan Kantor Pelayanan Perizinan Terpadu (KPPT), dibentuk dengan Peraturan Walikota Nomor 52 Tahun 2009 tentang Standar Pelayanan Perijinan Pada Kantor KPPT. KPPT secara resmi dilaksanakan pada 2009 – Desember 2011.
- Pembentukan Badan Pelayanan Perizinan Terpadu dan Penanaman Modal (BPPTPM) dengan Peraturan Daerah Kota Salatiga nomor 9 tahun 2011 tentang Perubahan kedua atas peraturan daerah kota salatiga nomor 11 tahun 2008 tentang Organisasi dan Tata Kerja Lembaga Teknis Daerah, Kantor Pelayanan Perizinan Terpadu dan Satuan Polisi Pamong Praja Kota Salatiga, secara resmi dilaksanakan pada Januari 2012 – Desember 2016.
- Pembentukan Dinas Penanaman Modal dan Pelayanan Terpadu Satu Pintu (DPMPTSP) sampai sekarang dengan Peraturan Walikota Salatiga Nomor 21 Tahun 2024 Tentang Kedudukan, Susunan Organisasi, Tugas dan Fungsi serta Tata Kerja Dinas Penanaman Modal dan Pelayanan Terpadu Satu Pintu Kota Salatiga.